日本の金属酸化物EUVレジスト市場：先進リソグラフィ技術の革新が2nmおよびHBM製造に新たな機会を創出

日本の金属酸化物EUVレジスト市場は、先進リソグラフィ材料のエコシステム拡大の中で重要性を増している。ADEKAは茨城県神栖市の鹿島工場に有機金属化合物の専用工場を建設する計画を発表しており、商業稼働は2028年4月を予定している。量産体制の整備と供給拡大が進むことで、日本国内のMOR供給能力が強化されつつある。

ADEKAの投資計画と併せて、埼玉県久喜市の半導体イノベーションセンターではEUVおよびHigh-NA EUV用途向けの先進的材料開発が進行している。ここでは有機金属化合物と光酸発生剤を中心に、研究開発から商業化へ移行する動きが強まっている。

次世代リソグラフィ材料の戦略には、TOKとIrresistible Materialsの協業が含まれる。2026年2月に発表されたこのパートナーシップは、MOR材料のPFAS/PFOSフリー配合の追求を含み、次世代EUVレジストの多様なプラットフォームを支えることが想定されている。

日本国内の半導体投資は、2nmクラスのロジックやHBMの量産化を前提に、解像度・感度・エッチング耐性・薄膜安定性のバランスを追求する材料開発を後押しする。2nmロジックの実用化に向けて、ポジ型とネガ型のMOR、金属含有レジスト、EUV吸収率の向上といった要素が市場機会を拡大すると予想される。