株式会社ニコンは、世界で初めてサブミクロン解像度0.85µmを実現するFPD露光装置FX-6ASLHの受注を開始したと発表した。第6世代プレートサイズに対応し、上市時期は2027年12月の予定という。
株式会社ニコンが発表した新型FPD露光装置FX-6ASLHは、世界で初めてサブミクロンの解像度0.85µmを実現することを標榜している。対象は第6世代プレートサイズで、主に高解像度を要するスマートデバイス向けの有機ELおよび液晶パネルの製造に用いられる。
同製品はUV-LED光源を採用した新規照明光学系を搭載し、0.85µmの解像度と1.0µmの解像度を両立させる。基板の大きさにも対応し、ライン幅と隣接ラインの間隔を考慮した設計でプレート全面へ露光が可能とされる。
重ね合わせ精度は±0.18µm以下を達成しており、複数レンズを統合したマルチレンズシステムと環境制御により高い歩留まりを実現する見込みとされる。タクトタイムは条件下で39秒／プレート、1,500×1,850mmサイズの適用を想定している。
上市時期は2027年12月とされ、同社は中小型パネル向けの第6世代プレートサイズに対する需要を見据え、従来を上回る解像力を実現する新製品として位置づけている。