解像度0.85μm達成…ニコンが受注開始、フラットパネルディスプレー露光装置の性能

ニコンがフラットパネルディスプレー露光装置において解像度を0.85μmまで達成したことを受け、同社はこの装置の受注を開始した。

本装置はフラットパネルディスプレーの製造工程に用いられる露光機であり、0.85μmという解像度を実現していると伝えられている。