ニコン、解像度0.5μm半導体露光装置の開発着手…後発も存在感発揮なるか (ニュースイッチ)

ニコンが解像度0.5μmの半導体露光装置の開発に着手した。関連する後発の動きが今後の市場動向の焦点となる可能性がある。