住友化学が九州大学と共同検証 ＫＮＮの光変調器で高効率等を実証

住友化学は九州大学と、ＫＮＮを光電融合デバイスの基幹材料として活用できる可能性を検証する共同研究を行い、ＫＮＮ薄膜基板を用いた光変調器で180Ｇbaud級の超高速動作を実証した。変調効率を示すＶπＬは0.7Ｖｃｍ未満を達成しており、次世代材料としての有望性が示唆された。

本研究では、ＫＮＮ薄膜基板を作製し九州大学が光変調器デバイスの設計・作製・評価を担当する体制で進められた。ＫＮＮはスパッタリング法での薄膜形成が可能で、従来材料と比較してコスト面や製造親和性の面で利点があるとされる。

ＫＮＮは高い電気光学特性だけでなく、既存の半導体製造プロセスとの適合性も期待される。今後は実用化に向けた製造・量産技術の適用性を含め、取り組みを一層推進するとされる。

同成果はスペインの国際会議ＥＣＯＣ２０２６でポストデッドラインペーパーとして採択され、住友化学と九州大学はＫＮＮ薄膜基板を用いた光変調器の実用化へ向けた取り組みを加速するとされる。