JX金属、半導体用金属の再資源化能力を増強

JX金属は、半導体用スパッタリングターゲットのリサイクル設備を新設することで、回収資源の再資源化能力を高める。設備の導入場所は群馬県館林市の館林事業所と栃木県那須塩原市の那須事業所で、回収した使用済みターゲットの処理体制を拡充する予定だ。

同社グループは、銅やタンタル、チタン、タングステン、コバルトなどを原料とするスパッタリングターゲットを供給しており、原料の安定確保と原料調達から製造までを一貫して手がける垂直統合型サプライチェーンの構築を進めている。

新設備では使用済みターゲットの切断・洗浄などを行い再資源化につなげ、リサイクル対象や処理量を拡大して資源の有効活用と環境負荷の低減を図る。