日本のマスフローコントローラー市場は、半導体・FPDの需要拡大と水素サプライチェーンの活性化を背景に成長傾向を示している。製品タイプはガス/液体/デジタルなど多様化し、用途も半導体・化学・製薬などへ拡大している。
本記事は、日本市場を動かす要因として、半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ、そして水素サプライチェーン関連の分野での需要急拡大を挙げている。国内の新設・増産投資の進展に伴い、成膜やエッチング工程でのガス供給の精密制御が重要となり、従来の流量計測から質量流量制御への移行が進むと説明している。
製品タイプは、ガスマスフローコントローラ、液体マスフローコントローラ、デジタルマスフローコントローラ、アナログマスフローコントローラ、サーマルマスフローコントローラ、コリオリマスフローコントローラの六種で構成されると整理している。その特徴として、各タイプが用途に応じた高精度・低応答時間や通信・遠隔監視機能の有無などの要件に適合すると記述している。
用途別には、半導体製造、化学・石油化学処理、石油とガス、製薬・バイオ、食品・飲料、水処理、分析機器、エネルギー・発電、産業オートメーションといった分野が挙げられている。これらの産業で、MFCの需要が多様なプロセス制御ニーズに対応していることが示されている。
市場には Bronkhorst High-Tech や Horiba、Parker Hannifin、Yokogawa などの主要企業が名を連ね、国内外の標準品・高機能品の供給競争が進んでいると紹介されている。