キヤノンが12月初めに発売するKrF露光装置の新機種FPA-6400ES6aが、性能面でASMLの上位機に並ぶ水準と伝えられた。一方、ASMLの牙城を短期間で崩すのは難しいとされます。
キヤノンはKrF露光装置の新機種FPA-6400ES6aを12月初めに発売すると発表した。10年ぶりのKrF製品となり、KrFスキャン式としては14年ぶりとなる。
新機種は毎時400枚のウェハー処理が可能で、前世代機FPA-6300ES6aに比べて速度が約1.3倍向上したとされる。重ね合わせ精度は4ナノメートルで、300ミリウェハー対応のKrFスキャン式露光装置では業界トップ水準と説明されている。
新装置の導入には既存ラインとの高精度連携と検証が必要で、カタログ上の数値だけでASMLの市場地位を容易に崩せるわけではないと評される。ASMLのKrF装置には液浸装置との共通性があり、導入時にはマッチング検証が改めて求められる可能性がある。