ジルコニアゾルを用いた新技術により、SiCウエハーの研磨速度を1.6倍に向上させる手法が開発されたと伝えられています。関連企業は第一稀元素化学工業です。
第一稀元素化学工業が、ジルコニアゾルを研磨材料として用いる新しい手法を用いて、SiCウエハーの研磨速度を従来比で1.6倍に向上させたと報じられています。これにより、ウエハー加工の効率向上が期待されると説明されています。
記事は、ジルコニアゾルを活用することによる研磨プロセスの改良を主題としており、具体的な導入時期や試験結果の詳細などの数値情報は本文には記されていません。今後の続報で実用化の見通しや適用範囲が明らかになると見られます。