FIGが半導体工場向けの自動搬送機器を発表した。自律走行搬送ロボット「WILL-FA」とロボットアームを組み合わせたモバイルマニピュレータ「WILL-MoMa」を開発し、搬送作業の自動化と清浄度維持、無人時間帯の装置稼働効率化を狙う。
FIGのグループ会社REALIZEが、半導体メーカー向けのモバイルマニピュレータ「WILL-MoMa」を開発したと発表した。自社開発の自律走行搬送ロボット「WILL-FA」とロボットアームを組み合わせ、半導体工場の搬送工程の自動化需要に応える狙いだ。
WILL-MoMaはWILL-FAの自動搬送機能とロボットアームの作業機能を統合し、独自の制御技術を搭載している。装置間搬送の自動化により、作業者の負担軽減と清浄度の維持に寄与し、夜間など無人時間帯の装置稼働を高める効果が期待されるとしている。
同発表は、半導体製造現場での自動化推進やクリーンルーム環境の要請に対応する取り組みとして位置付けられる。今後の導入拡大や実証結果など、追加の続報が注目される見込みだ。