日本特殊陶業系、宮城の新工場竣工 半導体製造装置向け部品生産へ

日本特殊陶業グループのNTKセラテックが宮城県富谷市で建設を進めていた新工場の竣工式を1日に行い、半導体製造装置向けのセラミックス部品の生産を開始する。対象品目にはシリコンウエハーを固定する静電チャックなどが含まれ、供給先は東京エレクトロンなどの装置メーカーである。

新工場は日本特殊陶業グループが周辺に約9ヘクタールの土地を取得し、数百億円を投じて増設を進める計画。完成した製造棟は地上2階建て・免震構造で延べ床2万2000平方メートル、クリーンルームを備える。

将来的には自律走行搬送ロボットの導入も検討され、同時に隣接する厚生棟を含む工場全体で太陽光発電を取り入れてCO2排出削減を年間約940トン見込む。NTKセラテックは東北大学の次世代放射光施設「ナノテラス」との連携も模索している。

エンジンの点火プラグを主力とする日本特殊陶業はEV普及を踏まえ事業ポートフォリオの最適化を進め、NTKセラテックをグループの半導体事業の中核として投資を強化する方針を示した。