ニコンがNEDOの補助事業に採択され、ポスト5Gに対応する解像度0.5µmのデジタル露光装置の開発に着手する。今後は大面積かつ高精細露光技術の開発を通じ、デジタル社会の脱炭素化と製造基盤の強化を目指す。
日本のカメラ・光学機器大手のニコンが、NEDOが実施するポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（補助）に採択された。採択は、解像度0.5µm（L/S）を実現するデジタル露光装置の開発を新たに着手することを意味する。
本件は、ポスト5G時代の情報通信システムの中核技術の開発と、それに伴うデジタル社会と脱炭素化の両立を目的とする。ニコンは「大面積かつ高精細露光装置開発」というテーマに対し、「高精細アドバンストパッケージ用デジタル露光装置の開発」を提案して採択された。