ＴＯＴＯが福岡県豊前市の工場敷地内に、半導体装置向けセラミック部材の次世代品を量産する新生産施設を建設する。投資額は約600億円で、2029年度上期の生産開始を予定している。
福岡県豊前市のＴＯＴＯファインセラミックス豊前工場敷地内に、S造3階建て延べ3万6000㎡の新生産施設を建設し、投資額は約600億円となる。2029年度上期の生産開始を目指す。
新設の生産棟は同社のセラミック事業で最大規模となり、静電チャックとAD部材の次世代品を量産する予定。 AD部材は基材にセラミック微細粒子を衝突させて高密度膜を形成する技術を用いる。
同日、大分県中津市のＴＯＴＯサニテクノ中津工場とＴＯＴＯファインセラミックス中津工場でも、AD部材の次世代品生産に向け約110億円を投資し、2028年度内の生産開始を目指す。