築港工場1600mm幅ARスパッタ・ATV実証機設備の新設

築港工場に1600mm幅ARスパッタおよびATV実証機の設備を新設する個別の設備投資計画。工程変更による完了時期の延期と、設備投資の実施完了を扱う時期依存テーマ。