Onto Innovationとのハイブリッド半導体計測ソリューション共同開発

Onto Innovationとの資本業務提携を基盤に、CD-SAXSと解析ソフトウェアを組み合わせたハイブリッド計測ソリューションを共同開発し、次世代半導体・先端パッケージ向けの協業拡大と後工程への参入を進める取り組み。