ナノ位置決め・高精度制御による半導体装置ソリューション強化

ナノオーダーの位置決めを実現する転がり・制振・高精度制御技術を組み合わせ、要素技術のユニット化や技術提携を通じて半導体製造装置向けソリューションを高度化する研究開発テーマ。