微細欠陥検査装置・高速イメージセンサーの製品化

微細な欠陥を検出する検査装置と高速イメージセンサーに新技術を搭載し、製品化・販売開始を進める取り組み。検査対象や用途よりも、検査計測機器と撮像センサーの製品化実績に焦点がある。