半導体マスク・ウェハ向け検査測定装置の新製品投入・ラインアップ拡充

EUVペリクル、EUVパターンマスク、WBGウェハ、マスクブランクス、一般マスクなどを対象に、検査・測定装置の新製品やシリーズを継続的に投入し、製品ラインアップを拡充する取り組み。SICA88など既存機種の性能向上も含む。