三フッ化塩素ガスによる半導体・MEMS微細加工技術の開発

大学との共同研究により、三フッ化塩素ガスを用いた半導体・MEMSの微細加工プロセスを開発し、半導体メーカーへの提案・実用化を目指す取り組み。