SiCデバイス向け大電流スイッチングテスタの開発

SiCデバイスの大電流測定ニーズに対応するため、既存スイッチングテスタを基盤に大電流印加モデルおよび制御系を刷新したリニューアルモデルを開発する取り組み。半導体試験装置の性能拡張と製品化が主題である。