CVD・ALD材料と結晶材料の量産・製品化

CVD・ALD材料の量産ライン構築・顧客評価・設備増強と、InP・CdZnTeなどの結晶材料の規模拡大を進め、次世代半導体材料の製品化・シェア拡大を目指す取り組み。