低熱膨張材LEXの高機能化・商品化

低熱膨張材LEXについて、高ヤング率・高温高強度・中温・低温などの用途別材料開発、熱間鍛造や実機サイズ試作を進め、半導体製造装置向けを含む商品化を目指す継続的な取り組み。