SiCウェーハ向けKABRAレーザー加工プロセスの開発・販売

SiCウェーハ製造工程の生産性向上を目的に、KABRAレーザー加工プロセスを開発し、装置・プロセスとして販売する取り組み。SiCウェーハの切断・分離工程に関わる独自プロセスの事業化を対象とする。