クリーンルーム清浄度自動測定ロボットシステムの開発

クリーンルーム内の粒子清浄度を自動測定し、合否判定や記録作成まで省力化するロボットシステムの開発・実用化。0.1µm粒子計測機能の実装とフィールドテストを進める取り組み。