GIGANEXによる半導体リソグラフィ以外のレーザー光源事業化

半導体リソグラフィ用を主力とするエキシマレーザー技術を、液晶製造や微細アブレーションなどの新分野へ展開し、製造装置用光源として事業化する取り組み。