検査・測定・観察・修正・露光などの装置を一括提供し、製造から検査・修正までの工程を一貫して支援するトータルソリューションを継続的に展開するテーマ。既存装置への機能追加やパッケージ戦略を通じて、顧客の製造工程全体への対応力を高める。