半導体・液晶向け次世代特殊ガスの開発

半導体・液晶製造の3D化やAI半導体・先端メモリ需要に対応し、高性能な新規特殊ガス・材料を開発する取り組み。地球温暖化防止への対応やKSG-5などの製品開発、特許網構築も含む。