Si貫通電極ウエーハの低コスト・超平坦化加工技術開発

Si貫通電極ウエーハを対象に、低コスト化、超平坦化、金属汚染フリー化、薄化を実現する加工技術および全自動研削盤の研究開発を進める取り組み。JST支援プログラムを通じた技術開発と成功認定を含む。