プラズマ用高周波電源関連製品のトータルサービス・ソリューション化

高周波電源、マッチングユニット、計測器などの関連製品を組み合わせ、プラズマ用途向けにトータルサービス・トータルソリューションとして提供する継続的な取り組み。