半導体微細化・高集積化対応のコロイダルシリカ製品開発

超高純度コロイダルシリカを中核技術として、半導体の微細化・高集積化に対応する粒度分布制御や最先端プロセス向け製品開発を進め、採用拡大につなげる取り組み。