縦型GaNパワーデバイスの高耐圧化技術開発

SiCより低損失なGaNを用いた縦型パワーデバイスについて、イオン注入プロセスやMOS界面欠陥抑制技術を研究し、高耐圧・大電流素子の実現を目指す取り組み。