計測技術を基盤とする研究開発・製品開発

「はかる」技術を中核に、DSP、計測機器、半導体関連、計量機器、医療・健康機器など複数分野で研究開発投資と製品開発を継続するテーマ。研究開発人員・費用の投入に加え、EUVマスク向け寸法測定装置など具体的な成果を含む。