フォトリソグラフィーを基盤とするコア技術展開

フォトリソグラフィーを中核に、表面処理・直描・画像処理・光学・検査計測など周辺技術を確立・展開する技術基盤強化の方針。単一の中核技術から関連する製造・画像・計測技術へ広げる点に特徴がある。