半導体材料ガス・超高純度空気分離装置の事業拡充

半導体材料ガスの生産能力を拡充し、MoO2Cl2製造施設への投資や顧客パイロットラインへの供給を進めるとともに、大規模半導体工場向け超高純度空気分離装置を製品化する取り組み。