半導体・液晶製造装置の微細化・大型化対応

半導体の微細化世代への対応、高能力搬送、液晶向け大型・高精細機器への対応を通じて、製造装置の性能・省電力性・効率を高めるテーマ。制御システムへのAI導入も含む。