マルチ電子ビーム描画装置の生産性向上・IMS連携強化

IMS社と共同で市場投入したマルチ電子ビームマスク描画装置について、生産性向上のための投資を強化し、IMSへの出資を通じて技術・事業面の連携を深める取り組み。