光学デバイス向けドライエッチング装置の製品化・技術展開

光学デバイス向けドライエッチング装置DEGシリーズを新製品として販売開始し、半導体・光学融合や電子デバイス分野に向けてエッチングおよびALD等の装置・プロセス技術を展開する取り組み。