開発・プロセス評価設備の新設・改修

東京エレクトロンの山梨事業所、東京エレクトロン九州、東京エレクトロン宮城などで、開発・プロセス評価および研究開発に用いる設備・施設の新設や改修を進める個別の設備投資計画。投資予定額の変更や工事進捗、設備帳簿価額への反映を扱う。