FPD・フォトマスク製造向け検査・露光・修正技術の事業化

FPDおよび半導体向けフォトマスク製造を対象に、検査・計測、マスクレス露光、蒸着用マスク、レーザアニール、荷電粒子ビームなどの基幹要素技術を開発し、事業化を進める継続的な取り組み。