特殊材料向け高剛性・高能率加工装置の開発

SiC、GaN、LT、LNなどの特殊材料を対象に、研削・ラップ・ポリッシュ工程向けの高剛性・高能率加工装置や次世代機種を開発する取り組み。半導体関連装置の販売・受注拡大にもつながる。