E-COMPASSを通じて、顧客・取引先などのパートナー企業と半導体製造装置のサプライチェーン全体で技術革新と環境負荷低減を進める取り組み。自社単独の環境対応から、サプライチェーン全体の環境保全へ対象を拡大する点に特徴がある。