日本の半導体用AFM市場は、先端ロジック・メモリ・パワー半導体を中心に需要が拡大。EUVリソグラフィの量産拡大と3D構造のNAND積層増加に伴い、高分解能での欠陥検査や形状評価の重要性が高まっている。一方、国内設備投資は慎重で、自動化とAI連携の進展が市場成長の鍵と見込まれる。
日本の半導体用AFMは、先端ロジック、メモリ、パワー半導体のデバイスメーカーと国内サプライヤーが支え、EUV量産の進展により欠陥検査や形状評価の需要が高まっている。研究開発用途から量産ラインの工程管理用途へ移行し、測定の自動化やスループット向上を備えた機種への関心が強まっている。
用途別ではウェーハ計測、障害分析、歩留まり学習の三分野が挙げられ、特に歩留まり学習が最も成長している。大口径ウェーハやEUV導入後の需要が高まる一方、分析人材の確保や専門知識の課題は依然として存在する。
市場規模の見通しでは、今後数年間で7.4%の年平均成長率が見込まれ、先端パッケージングや3D構造デバイスの検査需要拡大が成長を支えると予想される。投資動向や人材不足の解消を含む自動化・AI連携機能の進化が成長速度に影響する見込み。
主要企業にはOxford Instruments、Hitachi、Bruker Corporation、Shimadzuが挙げられ、国内市場の供給体制を形成している。