JASPが韓国のMNTekの半導体製造用Plasmaエッチング工程向けワイヤレス温度センサーウェハを日本市場へ展開開始した。対象は高精度温度測定技術を用いるウェハ検査・製造過程で、今後の普及が見込まれる。
JASPは韓国のMNTekが提供するPlasmaエッチング工程向けのワイヤレス温度センサーウェハの日本市場への展開を開始した。
このセンサーウェハは半導体製造過程で温度を無線で測定する技術を用い、従来品に比べて高精度・高速な温度制御を可能とすることが特徴とされている。