日本の半導体真空バルブ需要と主な用途

国内市場は、先端ロジック半導体やメモリを製造する大手デバイスメーカーと、それら向け装置を供給する国内装置メーカーが中心となっており、車載向けデバイスの生産増加により成熟プロセス向けの引き合いも強まっている。稼働率の市況依存性やメモリ価格・為替の影響で投資判断が慎重化する局面も見られる一方、装置内の真空環境の高度化が需要を牽引している。

用途別ではクリーニング、CVD/ALD、PVD、イオン注入、CMP、半導体測定装置、その他が挙げられ、ALDや計測装置関連が成長を牽引する。特にALDは原子層堆積の繰り返し回数増加に伴いバルブ開閉頻度が増え、計測装置は高真空環境維持の重要性が高まっている。なお、CMPはスラリー供給と真空排気の双方で需要があり、イオン注入は成熟市場として安定的。

市場関係者としてVAT、Emerson、Nihon KOSO、Valmet、CKD、MKS、Wuzhong Instrument、Flowserve、Chongqing Chuanyi Automationなどが挙げられる。今後はALDと計測装置関連の成長が牽引役となり、成熟プロセス向けの更新需要も継続する見通し。