ADEKAが千葉工場の光酸発生剤生産設備を約10億円投資で増設し、従来の約2倍へ能力を拡大する。着工は2027年1月、2028年9月の営業運転開始を目指す。加えて鹿島化学品工場ではMOR向け金属化合物の専用プラントの営業運転を2028年4月に開始する予定。
ADEKAは8月20日、千葉県袖ケ浦市にある千葉工場のフォトレジスト向け光酸発生剤の生産ラインを従来比で約2倍に拡大する計画を発表した。総投資額は約10億円で、既存建屋内に新ラインを増設する。
着工は2027年1月、完工は2028年2月を経て、同年9月から営業運転を開始する見通し。これにより先端リソグラフィ領域におけるEUV向け光酸発生剤の供給能力を高め、需要増に対応する。
同時にADEKAは鹿島化学品工場（茨城県神栖市）においてMOR向け金属化合物専用プラントを新設・操業する計画を立てており、2028年4月の営業運転開始を目指す。これにより化学増幅型レジストと金属酸化物レジストの双方に対応する体制を整える。
両施設の投資・新設は従来計画を2年前倒しで実施され、EUV・高NA EUV対応の材料供給体制強化を通じて事業拡大を図る方針となっている。