日本High-NA EUV材料市場：ADEKAの先端フォトレジスト投資が金属酸化物レジスト、ポリマー結合型PAG、次世代半導体製造に新たなビジネス機会を創出

ADEKAが高NA EUV材料の分野で投資を強化する。これにより先端フォトレジストの開発・供給体制の強化を目指すとされる。

投資対象には金属酸化物レジストが含まれ、従来の材料に新たな機能性を持たせる動きが進むと伝えられる。

ポリマー結合型PAGの開発促進も挙げられ、材料の安定性と製造適合性を高めることが意図されている。

この取り組みは次世代半導体製造における新規ビジネス機会の創出につながる可能性があるとしている。