1990年代にASMLに敗れたキヤノンが、ハンコ半導体技術でEUV露光装置の消費電力を10分の1、コストを40%削減する可能性のある革新を示していると報じられている。
1990年代、日本の半導体露光装置技術はASMLに敗れ、国内の最先端技術は衰退したとの見方が広がっていた。
今回の記事は、キヤノンが「ハンコ半導体」と呼ばれる新技術を通じて、EUV露光装置の消費電力を従来の10分の1程度に抑えられ、コストも40%程度削減できる可能性があると伝える。
この革新が実用段階に入れば、日本の露光装置分野の競争力回復に寄与する可能性があるが、具体的な導入時期や適用範囲、他社との比較などは続報を待つ状況である。