日本電子、半導体解析向け電顕 １ナノ単位で剥離

日本電子が半導体解析用の電顕に関する技術開発を進め、試料表面の剥離を1ナノメートルの精度で行える可能性が示されたという。この記事には、具体的な数値や適用分野、実用化時期などは記されていない。