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EUV露光機用ペリクル（CNT製ペリクル）
適用分野（この発表が対象とする用途）
次世代半導体デバイス製造、EUV露光による半導体の微細回路形成
提供開始日2025年度内（予定）：CNT製ペリクルの量産体制を確立予定
相手先と当社の関係
リンテック7966
当社との関係
2023年10月から、次世代半導体デバイス製造向けナノリソグラフィ要素技術について共同研究を推進している。
相手先国立研究開発法人産業技術総合研究所（産総研）
日本最大級の公的研究機関。経済および社会の発展に資する科学技術の研究開発を行い、社会課題解決と産業競争力強化をミッションとする。全国12か所の研究拠点、約2,300人の研究者を有する。
拠点（この発表が示した場所）
米国テキサス州、埼玉県さいたま市、埼玉県北足立郡
この発表で、会社は契約金額・提供価格・業績への影響のいずれにも触れていません。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 対象製品・サービス名 | EUV露光機用ペリクル（CNT製ペリクル） |
| 相手先 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所（産総研） |
| 相手先の概要 | 日本最大級の公的研究機関。経済および社会の発展に資する科学技術の研究開発を行い、社会課題解決と産業競争力強化をミッションとする。全国12か所の研究拠点、約2,300人の研究者を有する。 |
| 当社との関係 | 2023年10月から、次世代半導体デバイス製造向けナノリソグラフィ要素技術について共同研究を推進している。 |
| 提供開始日 | 2025年度内（予定）：CNT製ペリクルの量産体制を確立予定 |
| 適用分野 | 次世代半導体デバイス製造、EUV露光による半導体の微細回路形成 |
| 拠点所在地 | 米国テキサス州、埼玉県さいたま市、埼玉県北足立郡 |
この書類が述べていない項目（11件）
契約金額提供価格契約締結日受賞名・認証名授与・認証機関登録番号・有効期限拠点の規模定量的な効果利用実績業績への影響出典
会社がこの書類で述べていない項目です。空欄にしたり、他の資料や推測で補ったりはしません。
会社が挙げている理由
会社自身の説明です。数値から推測したものではありません。2023年以降の要素技術の確立、産総研との共同研究、量産機の立ち上げなど、これまでの研究成果を踏まえて量産化の見通しが立ったため。
このページの読み方
これは書類そのものではありません会社が提出した開示をKomoriが読み、要約しています。数値は会社が述べたとおりで、監査を受けたものではありません。
重みは評価ではありません会社が市場に伝えていた内容をどれだけ変えるかを測ったものです。株式に対する見方ではありません。
訂正されることがあります会社が同じ開示を出し直した場合、このページは訂正後の内容から作り直され、訂正番号が繰り上がります。