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世界初!ISOクラス1の清浄度とケミカルフリーを両立したスーパークリーン空間の開発

興研は、粉じんに加えて分子状汚染物質も抑制でき、ISOクラス1の清浄度とケミカルフリーを両立する装置「オープンクリーンシステム KOACH Duet」を開発した。2025年夏頃の発売を予定している。

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1600
社・機関(KOACH累計ユーザー数)
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発表された内容

オープンクリーンシステム KOACH Duetオープンクリーンシステム KOACH
適用分野(この発表が対象とする用途)
半導体製造製造現場
提供開始日2025年夏頃(予定)
会社が数字で示したこと
定量的な効果

ISOクラス1

0.1㎛の粉じんが10個以下

分子状汚染物質を数十~数百ng/㎥以下

吹出空気中の蟻酸<32.3ng/㎥、硫黄酸化物<2.9ng/㎥、酢酸<50ng/㎥、アンモニア21.4ng/㎥、全有機体炭素<481.1ng/㎥

利用実績

KOACH累計ユーザー数1600社・機関超(時点の明記なし)

この発表で、会社は契約金額・提供価格・業績への影響のいずれにも触れていません。

出典(会社が根拠として挙げた資料)

当社調べ(世界初の主張)

発表された内容
項目内容
対象製品・サービス名オープンクリーンシステム KOACH Duet、オープンクリーンシステム KOACH
提供開始日2025年夏頃(予定)
適用分野半導体製造、製造現場
定量的な効果ISOクラス1、0.1㎛の粉じんが10個以下、分子状汚染物質を数十~数百ng/㎥以下、吹出空気中の蟻酸<32.3ng/㎥、硫黄酸化物<2.9ng/㎥、酢酸<50ng/㎥、アンモニア21.4ng/㎥、全有機体炭素<481.1ng/㎥
利用実績KOACH累計ユーザー数1600社・機関超(時点の明記なし)
出典当社調べ(世界初の主張)
この書類が述べていない項目(12件)
相手先相手先の概要当社との関係契約金額提供価格契約締結日受賞名・認証名授与・認証機関登録番号・有効期限拠点所在地拠点の規模業績への影響

会社がこの書類で述べていない項目です。空欄にしたり、他の資料や推測で補ったりはしません。

会社が挙げている理由

会社自身の説明です。数値から推測したものではありません。

先端半導体製造で微細な粉じんだけでなく分子状汚染物質への対策が求められているため。また、半導体市場の拡大および先端半導体メーカーへの訴求を進めるための戦略製品と位置づけて開発した。

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